產品介紹
應用特色
TFM-500 Auto Coating and Thin film Thickness Analyzer
是自動化馬達驅動的非接觸式塗層及薄膜厚度分析儀（光學反射）。
TFM-500 系列膜厚計擁有直覺易用的介面，使任何人都能輕鬆獲得測量結果。
- 非接觸式且無損測量
- 只需按幾個按鈕即可簡單操作
- 只需幾個按鈕即可創建 XY 映射
- 支援各種基板（晶圓、玻璃、金屬等）
產品規格
*Measurement range: 0.3 ㎛ to 500 ㎛ (depending on film type)
*Measurement spot size: Approximately 4 mm
*Repeatability(10x): ≤ 0.001 ㎛ at 1-㎛ SiO2 on Si Wafer
*Stage size: motorized 30 x 30 cm (Other sizes are also possible.)
*Detector: 60 x 60 x 25 cm
符合規範
聯環優勢
35年+ 檢測設備垂直整合服務
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國際檢測品牌總代理
多個國際知名檢測品牌總代理，不斷為客戶提供最新檢測設備
專業售後支援服務
工程師具有專業知識與經驗，能準確與有效提供技術支援等服務
