產品介紹
應用特色
TFM-100 系列膜厚計是非接觸式塗層及薄膜厚度分析儀（光學反射）。
TFM 擁有直覺易用的介面，使任何人都能輕鬆獲得測量結果。
- 非接觸式且無損測量
- 只需按幾個按鈕即可簡單操作
- 支援各種基板（晶圓、玻璃、金屬等）
TFM-100 非常適合測量單層塗層，如光刻膠（PR）或類似材料。
產品規格
*Measurement range: 0.3 ㎛ to 500 ㎛ (depending on film type)
*Measurement spot size: Approximately 4 mm (Option: 40 ㎛, 80 ㎛)
*Repeatability(10x): ≤ 0.001 ㎛ at 1-㎛ SiO2 on Si Wafer
*Stage size: 20 x 20 cm
*Detector: 22 x 22 x 7 cm
符合規範
聯環優勢
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專業售後支援服務
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